近十年來，集成電產(chǎn)業(yè)在我***得到了迅速的發(fā)展，隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)***，隨之而產(chǎn)生的各種污染也不斷引起企業(yè)、部門的高度重視。集成電產(chǎn)生的污染物主要有生產(chǎn)廢水、工藝廢氣、生活污水、動(dòng)力設(shè)備噪聲和固體廢物等。這些污染物必須進(jìn)行有效治理才能提供安全的工作及******的生態(tài)。下面韻藍(lán)環(huán)保為您介紹一下集成電產(chǎn)業(yè)所產(chǎn)生廢氣的種類。

　?、偎嵝詮U氣:來源于工藝流程中使用各種酸液對芯片進(jìn)行腐蝕、清洗的過程以及擴(kuò)散等工序,主要污染物為氟化物、氯化氫、氮氧化物、硫酸霧等。

　?、塾袡C(jī)廢氣:來源于清洗、勻膠、去膠、刻蝕、顯影工序使用有機(jī)溶劑清洗的過程,主要成份為異丙醇、光刻膠等有機(jī)物。

　?、莨に囄矚?來源于擴(kuò)散、離子注入和CVD等工序使用的***殊氣體,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工藝中反應(yīng)消耗外,其余均以尾氣的形式排放。